Et scanning-tunnelmikroskop i et vakuumkammer ved UHV. Ultrahøjt vakuum (engelsk: Ultra-High Vacuum; UHV) er et vakuum-regime, hvor trykket er lavere end ~100 nPa (~10−7 Pa, ~10−9 mbar, ~10−9 torr).
En ældre vacuumpumpe, der fjerner luften inde i glaskuplen Vakuum (af latin vacuus, der betyder "tom") er betegnelsen for et tomt område, som regel et lufttomt rum.